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发明名称 CFC LIQUID SPRAYING TYPE IN-LIQUID CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01284375(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880111815 申请日期 1988.05.09
申请人 OTSUKA GIKEN KOGYO KK 发明人 HORIMOTO TOSHIO
分类号 B08B3/08;C23G5/04;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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