发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01283835(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880113263 申请日期 1988.05.10
申请人 PURETETSUKU:KK 发明人 HARADA YASUYUKI;AMANO YUTAKA;SHIRAI KATSUNORI
分类号 B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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