| 发明名称 |
Verfahren zum Entfernen von unerwuenschten Verunreinigungen aus einem Halbleiterkoerpr |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE1277828(B) |
申请公布日期 |
1968.09.19 |
| 申请号 |
DE1963F041251 |
申请日期 |
1963.11.12 |
| 申请人 |
FUJI DENKI SEIZO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HARUKI DIPL.-ING. HIROMU;MATSUZAWA DIPL.-ING. HIDEMI |
| 分类号 |
C30B31/04;H01L21/00;H01L29/00 |
主分类号 |
C30B31/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
