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发明名称 ANNEALING METHOD OF GAAS WAFER
摘要
申请公布号 JPH01283921(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880115258 申请日期 1988.05.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO KAZUHIKO
分类号 C30B29/42;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 C30B29/42
代理机构 代理人
主权项
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