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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01283818(A)
申请公布日期
1989.11.15
申请号
JP19880112836
申请日期
1988.05.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ONO YOSHIKAZU;KOBAYASHI KIYOTERU
分类号
H01L21/225
主分类号
H01L21/225
代理机构
代理人
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