FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PROTECTIVE FILM,申请号JP19880113061-传众专利搜索

发明名称	FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PROTECTIVE FILM
摘要
申请公布号	JPH01282823(A)	申请公布日期	1989.11.14
申请号	JP19880113061	申请日期	1988.05.09
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MARUYAMA KENJI;TANAKA MASAHIRO
分类号	H01L21/316;H01L21/473	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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