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发明名称 TARGET HOLDER, ION BEAM SPUTTERING DEVICE AND METHOD OF USING THE SAME HOLDER AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01283370(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880112742 申请日期 1988.05.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURATA YOSHIYASU;MAEDA HIROSHI
分类号 C23C14/34;C23C14/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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