发明名称 Method of fabricating a polysilicon thin film transistor
摘要
申请公布号 US4880753(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 US19890311219 申请日期 1989.02.16
申请人 THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, P.L.C. 发明人 MEAKIN, DOUGLAS B.;MIGLIORATO, PIERO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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