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发明名称
Method of fabricating a polysilicon thin film transistor
摘要
申请公布号
US4880753(A)
申请公布日期
1989.11.14
申请号
US19890311219
申请日期
1989.02.16
申请人
THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, P.L.C.
发明人
MEAKIN, DOUGLAS B.;MIGLIORATO, PIERO
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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