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发明名称
FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01282408(A)
申请公布日期
1989.11.14
申请号
JP19880112934
申请日期
1988.05.09
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TOKUMARU MAKOTO
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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