发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF OXIDE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01282187(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880110546 申请日期 1988.05.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOMURA SHIYUNJI;YOSHINO HISASHI;ANDO TAKESHI;KASAMI AKINOBU
分类号 H01L39/24;C30B19/02;C30B29/22;H01B12/00;H01B13/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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