发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01282128(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880113106 申请日期 1988.05.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIROCHI KUMIKO;ICHIKAWA HIROSHI;ADACHI HIDEAKI;WASA KIYOTAKA;SETSUNE KENTARO;HATTA SHINICHIRO
分类号 H01L39/12;C01G1/00;C01G29/00;C04B41/87;C23F1/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 H01L39/12
代理机构 代理人
主权项
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