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发明名称 ELECTRON BEAM VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01283365(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880112604 申请日期 1988.05.11
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KAWADA NORIYUKI;KATO MITSUO;NAGAI NAOYUKI;KAJINISHI KUNIYUKI;TSURUSAKI KAZUYA
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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