| 发明名称 |
TEMPERATURE CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01282620(A) |
申请公布日期 |
1989.11.14 |
| 申请号 |
JP19880113338 |
申请日期 |
1988.05.10 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOYAMA TOSHIHIRO;TAKENE KOUICHI;AOYANAGI KENICHI;KONO TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/22;G05D23/00;G05D23/19;G05D23/24 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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