发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01281775(A) 申请公布日期 1989.11.13
申请号 JP19880111248 申请日期 1988.05.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIKICHI TOSHIAKI;TAKADA IKUNORI
分类号 H01L21/322;H01L29/167;H01L29/861 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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