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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01281754(A) 申请公布日期 1989.11.13
申请号 JP19880111025 申请日期 1988.05.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 GOTO MAKIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/43;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/88;H01L29/46 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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