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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH01281349(A) 申请公布日期 1989.11.13
申请号 JP19880109567 申请日期 1988.05.02
申请人 KUMAGAI GUMI CO LTD;HITACHI PLANT ENG & CONSTR CO LTD 发明人 MIYAKOSHI TAKASHI;SUGIYAMA AKIRA;OMOMO JUICHIRO;TAKAMURA SATORU
分类号 F24F7/06;B01L1/04 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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