| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING SUPERCONDUCTOR LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01280381(A) |
申请公布日期 |
1989.11.10 |
| 申请号 |
JP19880110024 |
申请日期 |
1988.05.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HARADA KEIZO;FUJIMORI NAOHARU;YATSU SHUJI;JODAI TETSUJI |
| 分类号 |
H01L39/02;C01G1/00;C04B41/89;C23C14/08;C23C16/30;C30B29/22;H01B12/06;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L39/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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