| 发明名称 |
REACTION APPARATUS FOR SURFACE ANALYSIS OF SI SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01280249(A) |
申请公布日期 |
1989.11.10 |
| 申请号 |
JP19880013374D |
申请日期 |
1988.01.23 |
| 申请人 |
KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD |
发明人 |
TANIZOE YASUKO |
| 分类号 |
G01N31/00;G01N1/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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