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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01279757(A) 申请公布日期 1989.11.10
申请号 JP19880107223 申请日期 1988.04.28
申请人 KONICA CORP 发明人 ITO KOICHI;NISHIWAKI AKIRA;MOROHOSHI YASUO
分类号 C23C16/24;C23C16/50 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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