发明名称 FORMATION OF THIN 'SENDUST(R)' FILM
摘要
申请公布号 JPH01279742(A) 申请公布日期 1989.11.10
申请号 JP19880108382 申请日期 1988.04.30
申请人 SHARP CORP 发明人 FUJINE TOSHIYUKI
分类号 C23C14/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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