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发明名称
FORMATION OF THIN 'SENDUST(R)' FILM
摘要
申请公布号
JPH01279742(A)
申请公布日期
1989.11.10
申请号
JP19880108382
申请日期
1988.04.30
申请人
SHARP CORP
发明人
FUJINE TOSHIYUKI
分类号
C23C14/06
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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