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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01280349(A) 申请公布日期 1989.11.10
申请号 JP19880110983 申请日期 1988.05.06
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUBARA SHINYA
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8222;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/06 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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