| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01278718(A) |
申请公布日期 |
1989.11.09 |
| 申请号 |
JP19880109364 |
申请日期 |
1988.05.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
ABE NOBUKAZU;OSADA KAZUHIRO;FURUKAWA HIROSHI;TAKAHASHI YASUSHI |
| 分类号 |
C30B25/08;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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