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发明名称 TROCKENAETZVERFAHREN FUER HALBLEITER
摘要
申请公布号 DE3914182(A1) 申请公布日期 1989.11.09
申请号 DE19893914182 申请日期 1989.04.28
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD.;KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO, AICHI, JP;RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOTAKI, MASAHIRO;HASHIMOTO, MASAFUMI, NAGOYA, AICHI, JP
分类号 H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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