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发明名称 X-RAY LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0299576(A3) 申请公布日期 1989.11.08
申请号 EP19880201456 申请日期 1988.07.08
申请人 HITACHI, LTD.;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 STORMBERG, HANS-PETER;WATANABE, YOSHIO
分类号 G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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