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发明名称 TESTING METHOD OF LSI
摘要
申请公布号 JPH01277779(A) 申请公布日期 1989.11.08
申请号 JP19880108612 申请日期 1988.04.28
申请人 NEC CORP 发明人 FUKUI TAKAHIRO
分类号 G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;H01L27/10 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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