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发明名称
EPITAXIAL GROWTH REACTOR
摘要
申请公布号
JPH01278497(A)
申请公布日期
1989.11.08
申请号
JP19890067763
申请日期
1989.03.22
申请人
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV
发明人
PETERU FURIEIRINKU
分类号
C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205
主分类号
C30B25/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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