Method of manufacturing monolithic integrated multifunctional circuits.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung monolithisch integrierter, multifunktionaler Schaltungen. Ein Schaltkreis wird im Substrat integriert und weitere mehrschichtige Halbleiterbauelemente und die entsprechenden elektrischen Zuleitungen werden auf dem Substrat übereinander angeordnet. Die mehrschichtigen Halbleiterbauelemente und die elektrischen Zuleitungen, werden aus einer epitaktisch gewachsenen Halbleiterschichtenfolge hergestellt.