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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM GENERATING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH01278494(A)
申请公布日期
1989.11.08
申请号
JP19880106114
申请日期
1988.04.28
申请人
NEC CORP
发明人
NEGISHI HITOSHI
分类号
H01L21/203;C30B23/08
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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