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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES MIT SELBSTPOSITIONIERENDEN KONTAKTFENSTERN
摘要
申请公布号
DD273335(A1)
申请公布日期
1989.11.08
申请号
DD19880317060
申请日期
1988.06.23
申请人
DRESDEN MIKROELEKTRONIK
发明人
STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD;PETZOLD,RALF,DD;HILLIGER,ANDREAS,DD
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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