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发明名称 DEVICE FOR SORTING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 SU1519789(A1) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 SU19874311334 申请日期 1987.09.30
申请人 LOGVINOV GENNADIJ F,SU;ABRASHIN ALEKSANDR V,SU;IVANOV YURIJ V,SU;SELEZNEV YURIJ P,SU 发明人 LOGVINOV GENNADIJ F,SU;ABRASHIN ALEKSANDR V,SU;IVANOV YURIJ V,SU;SELEZNEV YURIJ P,SU
分类号 B07C5/08;H01L21/70 主分类号 B07C5/08
代理机构 代理人
主权项
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