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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01276742(A)
申请公布日期
1989.11.07
申请号
JP19880106082
申请日期
1988.04.28
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KOGA KAZUO
分类号
H01L21/3205
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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