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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01276741(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880106075 申请日期 1988.04.28
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAMADA YOICHI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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