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经营范围
发明名称
CALIBRATION OF ASTIGMATISM IN RECTANGULAR BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01276629(A)
申请公布日期
1989.11.07
申请号
JP19880106648
申请日期
1988.04.27
申请人
JEOL LTD
发明人
OKINO TERUAKI;IIDA NOBUO;KAWAMURA ICHIRO
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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