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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01276628(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880106647 申请日期 1988.04.27
申请人 JEOL LTD 发明人 OKINO TERUAKI;IIDA NOBUO;KAWAMURA ICHIRO
分类号 G21K5/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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