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发明名称 FORMATION OF SUPERLATTICE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01276618(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880104826 申请日期 1988.04.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAMAZAKI KOJI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01S5/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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