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发明名称 PLASMA ADHESION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01275760(A) 申请公布日期 1989.11.06
申请号 JP19880103378 申请日期 1988.04.26
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 HAYAKAWA MORIE;OKADA SHIGENOBU
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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