| 摘要 |
Dans l'appareil de pulvérisation du type à magnétron (10), le champ magnétique est formé par un ou plusieurs électroaimants (14a, 14b, 14c) alimentés par un courant électrique dérivé d'un courant ionique de pulvérisation. Les électroaimants de la source de pulvérisation du type à magnétron (14a, 14b, 14c) sont enroulés, isolés et connectés de sorte que le courant ionique de pulvérisation, ou une partie de ce courant, passe par les bobines (16a, 16b, 16c) et alimente ainsi les électroaimants. De la sorte, plusieurs électroaimants peuvent être connectés en parallèle ou en série et alimentés par le courant ionique de pulvérisation. |
