| 发明名称 |
PATTERNING METHOD FOR FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01274430(A) |
申请公布日期 |
1989.11.02 |
| 申请号 |
JP19880102551 |
申请日期 |
1988.04.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUCHIYA MASATOSHI;FUYAMA MORIAKI;KAWABE TAKASHI;MORIJIRI MAKOTO;KOBAYASHI ATARU;KONUMA AKIRA;NARUSHIGE SHINJI |
| 分类号 |
G11C11/14;G11B5/31;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
G11C11/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
