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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MONOLITHISCH INTEGRIERTER, MULTIFUNKTIONALER SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE3813836(A1) 申请公布日期 1989.11.02
申请号 DE19883813836 申请日期 1988.04.23
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT, DE 发明人 KASPER, ERICH, DR., 7914 PFAFFENHOFEN, DE;KUISL, MAX, DR.;KOENIG, ULF, DR.;LUY, JOHANN-FRIEDRICH, 7900 ULM, DE
分类号 H01L21/285;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/532;H01L23/64 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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