| 摘要 |
<p>La pré-ionisation est importante lorsque l'on veut générer une décharge lumineuse dans la cavité de gaz d'une chambre laser (LK) entre les électrodes laser (E1, E2). Dans le cas de lasers excimer du type à décharge partielle, on utilise en particulier une pré-ionisation par rayons X qui requiert des impulsions de haute tension fournies, selon l'invention, par un circuit auxiliaire composé d'une branche (Z1) connectée en parallèle au commutateur de haute tension (S) ou à la section de décharge laser (E1, E2) et qui comprend comme élément commutateur un inducteur magnétique saturable (Ls) connecté en série à l'enroulement primaire (w1) d'un transformateur d'impulsions de haute tension (Tr). C'est dans son enroulement secondaire (w2) que sont générées les impulsions de déclenchement de haute tension pour l'élément de pré-ionisation, notamment un tube à rayons X. Lorsque la branche est connectée en parallèle au commutateur de haute tension (S), elle comprend une capacité sérielle (C3); lorqu'elle est connectée en parallèle à la section de décharge laser (E1, E2), elle comprend une capacité parallèle. Ce nouveau circuit permet de synchroniser avec précision les impulsions de pré-ionisation, notamment les impulsions de rayons X, par rapport à la durée d'augmentation de la tension dans les électrodes laser, et de les accorder avec le laser.</p> |
