发明名称 |
HIGH ELECTRON MOBILITY SEMICONDUCTOR DEVICE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0064829(B1) |
申请公布日期 |
1989.11.02 |
申请号 |
EP19820302106 |
申请日期 |
1982.04.23 |
申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MIMURA, TAKASHI;HIYAMIZU, SATOSHI |
分类号 |
H01L21/331;H01L21/338;H01L29/06;H01L29/73;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/331 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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