Low-pressure plants operating with volatile toxic compounds.

摘要

Bei Vakuumanlagen, die mit flüchtigen toxischen Verbindungen von pyrolytisch abscheidbaren Elementen arbeiten oder mit Verbindungen, die pyrolytisch in unschädliche Bestandteile zersetzt werden können, kann die Ansammlung von toxischen Verbindungen im Arbeitsmedium der Vorvakuumpumpe oder die Abgabe an die Umgebung mittels eines im Niederdruckbereich vor der Pumpe vorgesehenen Zersetzers vermieden werden, dessen Oberflächen auf Zersetzungstemperatur (von z. B. bis 1500°C) zu bringen sind und der durch zumindest eine auswechselbare Packung von Füllmassen, wie insbesondere Edelstahlspänen gebildet wird, die einerseits das Saugvermögen nicht wesentlich herabsetzen, deren Oberflächen aber andererseits einen mittleren Abstand in Gasdurchgangsrichtung aufweisen, durch den eine turbulente Strömung erzwungen wird, so daß ein "Schlupf" toxischer Moleküle durch den Zersetzer ohne Wandkontakt vermieden wird. Zweckmäßig sind zumindest 2 abwechselnd zu betreibende Zersetzer mit auswechselbarer Füllung, die insbesondere durch Rohre von 10 bis 10³ cm Länge und 1 bis 100 cm Durchmesser gebildet werden, die mit Spänen von mittlerem Durchmesser um 1 bis 2 mm gefüllt sind und auf Temperaturen im Bereich von 300 bis 900°C aufgeheizt werden.