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发明名称 SELECTION GROWTH METHOD FOR SILICON
摘要
申请公布号 JPH01274416(A) 申请公布日期 1989.11.02
申请号 JP19880102474 申请日期 1988.04.27
申请人 NEC CORP 发明人 OGURA ATSUSHI
分类号 H01L21/203;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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