| 发明名称 |
METHOD OF FORMING CIRCUIT PATTERN OF SUPERCONDUCTING THIN-FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01274481(A) |
申请公布日期 |
1989.11.02 |
| 申请号 |
JP19880103556 |
申请日期 |
1988.04.26 |
| 申请人 |
DOWA MINING CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA YUICHI;FUJISAWA HIROKO |
| 分类号 |
H01L39/24;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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