发明名称 |
硅自封闭压力传感器 |
摘要 |
一种硅自封压力传感器,它克服了原有技术中加工难度大,测量精度不高等缺点。本实用新型包括有金丝、引线板、缓冲垫、玻璃元件、硅元件、密封圈、压紧螺帽等组成,其中由玻璃元件硅元件的下部,在硅力敏元件与外壳之间用粘接剂进行密封,在下部利用密封圈进行密封。本实用新型的具有测量精度高、线性好、成本低等优点。 |
申请公布号 |
CN2047014U |
申请公布日期 |
1989.11.01 |
申请号 |
CN89210121.0 |
申请日期 |
1989.02.14 |
申请人 |
于海波;段祥照 |
发明人 |
于海波;段祥照 |
分类号 |
G01L1/00;G01L9/00;H01L49/00 |
主分类号 |
G01L1/00 |
代理机构 |
辽宁省科学技术情报研究所专利代理部 |
代理人 |
刘旭 |
主权项 |
1、一种硅自封闭压力传感器,包括有金丝1,引线板2,缓冲垫3,玻璃元件4, 硅元件5,密封圈6,压紧螺帽7,外壳8,密封粘接剂9,其特征在于:硅元件5设置 在玻璃元件4的下端,构成硅力敏元件,玻璃元件4的上端设置有缓冲垫3,硅力敏 元件在外壳8的上部,在外壳8与硅力敏元件之间,充填有粘接剂9,在硅力敏元件 与压紧螺帽7之间设置一个密封圈6。 |
地址 |
辽宁省沈阳市皇姑区崇山西路三段四号 |