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发明名称 COMBINED INDUCTIVE/CAPACITIVE SENSOR FOR MEASUREMENT OF RESISTANCE OF THIN LAYERS
摘要
申请公布号 GB2217860(A) 申请公布日期 1989.11.01
申请号 GB19890009488 申请日期 1989.04.26
申请人 * LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GERNOT * THORN
分类号 G01R27/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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