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发明名称 VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON ABGASEN AUS CVD-PROZESSEN
摘要
申请公布号 DD273009(A1) 申请公布日期 1989.11.01
申请号 DD19880316791 申请日期 1988.06.15
申请人 VEB ELEKTROMAT DRESDEN,DD 发明人 KROEDEL,GUNTER,DD;FABIAN,LUTZ,DD;MOELLER,RAINER,DD;STELZER,HORST,DD
分类号 B01D53/46;B01D53/64;F23G7/06;(IPC1-7):B01D53/34 主分类号 B01D53/46
代理机构 代理人
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