发明名称 SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA Y METODO PARA USAR EL MISMO.
摘要 SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA Y METODO PARA USAR EL MISMO. UN SISTEMA DE REOSTRICCION DE PLASMA INCLUYE UN DISPOSITIVO DE PLASMA CONSISTENTE EN UNA NUBE PREACONDICIONADORA DE VAPOR TENUE QUE RODEA A UNA CORRIENTE DE FLUIDO FINA FLUYENTE CENTRAL, ESTRECHA, DE FLUIDO BAJO PRESION. CONECTADO ELECTRICAMENTE AL DISPOSITIVO DE REOSTRICCION DEL CHORRO DE FLUIDO SE ENCUENTRA UN DISPOSITIVO DE DESCARGA PARA QUE APORTE UN FLUJO ELECTRICO A TRAVES DE UNA PARTE DE LA CORRIENTE DE FLUIDO, PARA ESTABLECER UNA LUZ INCOHERENTE EMISORA DE PLASMA PARA FABRICAR SEMICONDUCTORES INCLUYE LA EXPOSICION DE UNA PASTILLA SEMICONDUCTORA A LA LUZ INCOHERENTE EMITIDA POR EL PLASMA, PARA FINES DE RECOCIDO O DE MORDENTADO.
申请公布号 ES2010381(A6) 申请公布日期 1989.11.01
申请号 ES19880003711 申请日期 1988.12.05
申请人 GERENTES DE LA UNIVERSIDAD DE CALIFORNIA 发明人 ASMUS JOHN F.;LOVBERG RALPH H.
分类号 C23F4/00;G03F7/20;H01J61/72;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/04;H05H1/52;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址