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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 US4877754(A) 申请公布日期 1989.10.31
申请号 US19880173003 申请日期 1988.03.31
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 PEEK, HERMANUS L.
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L21/8234;H01L27/148 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
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