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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01272322(A) 申请公布日期 1989.10.31
申请号 JP19880103285 申请日期 1988.04.25
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 NAKAJIMA AKIO
分类号 G01K13/00;G01K7/02;H01L21/822;H01L27/04;H03L1/02 主分类号 G01K13/00
代理机构 代理人
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